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廠房介紹

 

 

華力微電子建有一條先進的12英寸集成電路芯片生產線,月產能3.5萬片。該生產線采用高端生產設備,充分考慮了技術的延展性,能滿足包括193nm浸沒式光刻技術、應變硅技術、金屬硬掩模后道互連技術、銅后道大馬士革一體化刻蝕技術等先進工藝的要求,同時還配備了業界先進的亮場缺陷檢測和電子掃描顯微鏡等檢測設備。

 

華力微電子是中國大陸首家采用全自動搬運系統的12英寸集成電路芯片代工企業,全自動搬送系統包括軌道、硅片存儲、搬送小車、和緩沖存儲架。軌道由中央搬送軌道、連接到設備的軌道及周邊的環路軌道組成,總長3246米,搬送范圍覆蓋整個潔凈廠房的所有設備。

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